GSS600超聲掃描顯微鏡-半導體行業(yè)

超聲掃描顯微鏡（SAT）是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設備，主要利用高頻超聲波，對各類半導體器件、材料進行檢測，能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中，不會對樣品造成損傷，不會影響樣品性能，可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電池、半導體、電器焊接件、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等產(chǎn)品質控需求。

1.1 產(chǎn)品名稱

超聲掃描顯微鏡

1.2 數(shù)量

1臺

1.3 規(guī)格型號

型號	機器示意圖
SHSIWI GSS600

注：上圖僅供參考，實際產(chǎn)品可能會有所差別

1.4 機電特性

機電特性	規(guī)格型號
整機尺寸	1000mm×900mm×1400mm
水槽尺寸	620mm×650mm×150mm
有效掃描范圍	350mm×300mm×100mm
******掃描速度	600mm/s
圖像推薦分辨率	1～4000um
定位精度	X/Y≤±0.5μm，Z≤±5μm
重復定位精度	X/Y≤±0.01mm，Z≤±0.02mm
上下水	水壓注水，水泵排水。

二、廠務安裝條件

2.1 設備尺寸

設備整機尺寸1000mm（長）×900mm（寬）×1400mm（高）。安裝方案基于空間占用小和維護/服務條件優(yōu)化的需要，保證在設備周圍留有500mm的空間，可以方便工作人員進行操作、維護。

2.2 電腦桌

設備配有電腦桌，用于安放鼠標、鍵盤及顯示器。用戶也可自行配備。

2.3 電力供應

工作電源：220V±10%/50Hz，1~2KW

另外，設備配有UPS電源，以保護設備運行安全。

2.4 水源：

設備需要自來水、去離子水或者純凈水，并且需要定期更換。水溫要求：15～30℃

2.5 環(huán)境相對濕度：35℃≤50％RH

2.6 環(huán)境溫度要求：20～35℃

2.7 周邊環(huán)境：

不要放在強磁場、電磁波和產(chǎn)生高頻設備的旁邊。

減少振動。

灰塵少、濕氣少，沒有腐蝕性氣體的地方。

電源的變化，限制小。

為了防止地震的損壞，四周一定要固定。

三、設備主要配置表

序號	名稱	規(guī)格
1	掃描系統(tǒng)	X軸：直線電機驅動；Y軸：伺服電機驅動；Z軸：步進電機驅動
2	水槽	620mm x 650mm x 150 mm
3	超聲發(fā)射、接收器	帶寬1-65MHz
4	高速數(shù)據(jù)采集卡	采樣頻率 500MHz
5	超聲探頭	本機型可適配100MHz及以下頻率的探頭；本機型標配50MHz0.5in探頭一只；透射模組T-scan一套；
6	工控機	i5處理器、內存8GB、硬盤1T、Win10 64位操作系統(tǒng)。
7	顯示器	兩個27"液晶顯示器
8	檢測軟件	思為超聲無損檢測軟件V2.0

四、半導體芯片封裝分層檢測能力

測量能力	能力描述
標準塊測量誤差	測量機械加工的標準塊，在軟件進行強度校準的前提下，超聲檢測多次測量誤差在±1%。
工件測量誤差	選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件，采用同一處方且檢測量程不變的情況下分別調整增益22dB、26dB、30dB進行檢測，三次檢測結果釬著率差值在±1%以內。
厚度測量范圍	Epoxy材料： Cu材料： 0.5 ~ 2mm（50MHz探頭） 0.5 ~ 1.4mm（25MHz探頭） 1.0 ~ 4.0mm（15MHz探頭） 1.2 ~ 3.7mm（15MHz探頭）注：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭
缺陷識別能力	在測量系統(tǒng)厚度能力范圍內，被測材料聲速在標準材料聲速±5%以內的情況下，且超聲入射表面為平面的被測產(chǎn)品的水平方向的結合缺陷的識別能力為0.15毫米（15MHz、25MHz探頭）和0.07毫米（50MHz探頭）。

五、軟件功能

軟件功能	功能描述
手動掃描	可以通過手動的方式生成C掃描圖像，反映被檢焊接結合面結合情況，并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測結果。
探頭與C掃圖像對位	可通過點擊C 掃圖的具體像素點將探頭移至與實際被檢工件相對應的位置。
手動分析	對生成的C掃圖片可以進行各種編輯，包括加框（確認有效分析區(qū)域），測距，修改閾值，圖片剪裁，弧面補償?shù)取?/span>
多種掃描模式	（1） A掃描：查看超聲反射或透射波形；（2） C掃描：對焦深度上沿X-Y平面掃描并成像；（3） T掃描：安裝透射探桿，執(zhí)行穿透掃描；（4）區(qū)域掃描：可自定義檢測區(qū)域，并對檢測區(qū)域進行掃描；（5）斷層掃描：在指定的多種深度自動多次執(zhí)行C掃描并成像；（6）批量掃描：對放置于水槽中的一種或多種工件進行自動檢測。
報告自動生成	可對檢測結果自動進行編輯并輸出報告文檔。
探頭管理	可對不同型號探頭進行更換或編輯。
一鍵自動校準	可自動對檢測設備坐標偏移及檢測系統(tǒng)能量變化，能實時校準系統(tǒng)漂移，保證檢測結果的準確性和穩(wěn)定性。
不銹鋼標準強度	系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測用鋼對比試塊的制作與校驗方法》的不銹鋼標準塊。認定該不銹鋼標準塊的超聲反射強度=100 STSS（“STainless Steel Standard”的縮寫），其他所有材料的檢測相對于STSS做換算。
缺陷檢測能	焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。可對缺陷尺寸和面積進行自動統(tǒng)計和計算。也可根據(jù)客戶的要求，提供有償定制開發(fā)服務。
厚度檢測	金剛石圓片等工件的金剛石層厚度檢測。
密度檢測	粉末冶金原材料密度分布檢測。
斷層檢測	對被測工件不同深度位置獨立對焦和掃描，形成多層斷層圖像，展現(xiàn)立體缺陷。
聲速檢測	聲音在被測材質中的飛行速度檢測。

六、標準材料聲速表

材料		聲速（m/s）
鋁	Aluminum	6305
鋼	Steel,common	5920
不銹鋼	Steel,stainless	5740
黃銅	Brass	4399
銅	Copper	4720
鐵	Iron	5930
銀	Sliver	3607
金	Gold	3251
鈦	Titanium	5990
聚氯乙烯	PVC	2388
樹脂	resin	4076
金剛石	diamond	14000
鋅	zinc	4170
有機玻璃	Organic glass	2730
陶瓷	ceramic	5842
錫	tin	3230
水	water	1500